平滑斜面试算与电镜建模步骤

A. 样品与拍摄（进仿真前）

1. 截面垂直沟槽。闪耀齿看 XZ；若样品倾斜，后续必须做倾角校正，否则 H 和 α 一起错。
2. 同一视场至少 3～5 个完整周期，带标尺。只拍一颗「好看的齿」会把缺陷当成周期结构。
3. 同时拍一张低倍（数周期、量 Λ）和一张高倍（圆角、残胶、孔隙）。
4. 若有 AFM：高度图走 coatuf 加银层；截面轮廓仍优先多边形。

B. 校准（像素 → μm）

1. 读标尺：nm_per_px = scale_nm / scale_px。
2. 用已知周期校核：量 N 个齿的像素宽度，Λ_meas = N_px * nm_per_px / N，应接近 378 nm（规格）或你的实测周期。偏差 >3% 先查倾角/标尺，不要直接改设计周期去凑衍射级。
3. 切斜校正：若截面相对沟槽法线偏 γ，真实高度 ≈ 图上高度 × cosγ（按实际夹角定义选用）。
4. 把像素坐标变成以单胞中心为原点、z=0 在玻璃/胶界面的物理坐标（nm 或 μm）。

C. 分割与描边

1. 阈值 / 分水岭分开：玻璃、压印胶、银、孔隙。JPEG 压缩块不要当界面。
2. 提取胶–银折线。残胶、圆角、底部未镀满都要保留，不要手工修成理想直角。
3. 每个周期得到一条轮廓后：在 x 上按周期折叠到 [-Λ/2, Λ/2]，再对 z(x) 平均（或中位数）。这是单胞，不是把一张图整段拿去当超胞，除非你打算用 FullWAVE 算有限周期。
4. 闭合：胶水多边形必须首末点相同。银是槽的补集 + 盖帽（盖帽仍用矩形 segment，厚度用设计值或 SEM 实测）。
5. 运行：rspython sem_to_polygon.py --csv your_trace.csv --period-nm 378 --out cad_smooth/sem_glue.dat

# your_trace.csv  两列：x_nm, z_nm（一个周期，不必先闭合）
-189, 0
 189, 0
 189, 42
-189, 218

D. 写入 RSoft（与本次方式 2 相同）

1. 得到 sem_glue.dat / sem_ag.dat（μm，闭合）。
2. 复制 cad_smooth/ic_poly_spec.ind，把 polygon 的 data file 改成 SEM 文件；或改 run_smooth_facet.py 里 polygon 的 file 名后重跑。
3. 单胞边界仍是 boundary_min/max = ±Period/2，Period 用实测平均周期。
4. step_size = Height/64（或更细）做收敛；Nx 从 21→41→61，看 m=-1 相对变化 <1%。
5. 材料：胶水 n 用 Inkron 1.74（或椭偏），银用材料库色散。SEM 衬度不是 n、k。

E. 备选：bmp2ind（位图剖面）

1. 只适用于 1/4/8-bit 索引色 BMP，不支持 24-bit 照片。先在图像软件里 Indexed Color，调色板：0=玻璃、1=胶、2=银。
2. 裁成刚好一个周期，宽=Λ，高=齿+银盖帽。
3. bmp2ind -w0.378 -h0.35 -m=sem_pipeline/materials.map sem_cell.bmp sem_cell.dat
4. CAD：add_userprofile('DATAFILE', data='sem_cell.dat')。胶+银两相时索引映射很容易把金属 n 弄错，闪耀齿仍优先多边形。

F. 备选：AFM 高度 + coatuf

1. AFM 得到齿高 profile（user profile 数据文件）。
2. coatuf -t0.52 -sx1 -sy1 -sf1 tooth_height.dat ag_coat.dat（−t 为银厚，μm）。
3. CAD 里高度段与镀膜段同位叠放。截面圆角仍不如 SEM 多边形清楚。

G. 验收

1. CAD 顶视图/XZ 折射率图：胶齿与 SEM 叠图，Λ、H、圆角量级一致。
2. 同一套 dfmod 设置，设计 CAD（本次 polygon spec）与 SEM CAD 出两张 DE/BSDF，差值当工艺公差，不要强行改 Pin 去对齐某一级。
3. 缺陷明显时不要周期化：改 FullWAVE 有限个周期抽检。